氧气回收系统是一种对臭氧尾气回收净化再循环利用的节能成套系统，其包括：臭氧尾气破坏器、尾气脱水装置、尾气收集罐、尾气增压机及尾气净化提纯装置等。臭氧气体经水处理系统吸收反应后的尾气经过尾气破坏器，将尾气中的臭氧催化还原变成氧气，而后进入尾气脱水装置，将尾气中的水分脱除后再进入尾气收集罐，通过尾气收集罐的稳压缓冲后进入尾气增压机，通过尾气增压机将尾气压力提升至0.8MPa以上，再进入尾气净化提纯装置将尾气提纯至氧气浓度和露点等参数符合臭氧发生器所需氧气源的指标，最后再补充少量新鲜氧气混合进入臭氧发生器制备臭氧，依此可实现制备氧气-臭氧制备-催化氧化水处理的系统循环利用。
该臭氧回收利用系统可以大幅降低水处理的运营成本，氧气利用率约达到80%，有效节约空气纯化处理的运行成本。对于使用液氧作为臭氧气源的场合更加具有优势，臭氧回收利用系统的综合运行成本约为液氧运行成本的30%，节能减排，无三废排放，无污染环境，同时投资回报率非常高。
