真空变压吸附制氧技术是一种新型的从空气中制取富氧的技术，真空变压吸附（VACUUM PRESSURE SWING ADSORPTION，简称VPSA）。
VPSA制氧设备是以电力为动力、空气为原料。空气中的主要成分是氮、氧以及其他一些较少气体和杂质，常温下空气中氮气和氧气在沸石分子筛（ZMS）上的吸附性能不同（氧气能通过而氮气被吸附），设计适当的工艺过程，而使氮和氧分离制得氧气。
氮气在沸石子筛上的吸附能力比氧气强（氮与分子筛表面离子的作用力强），当空气在加压状态下通过装有沸石分子筛吸附剂的吸附床时，氮气、水汽、二氧化碳等被分子筛吸附，氧气因吸附较少，在气相中得到富集并流出吸附床，使氧气和氮气分离获得氧气。当分子筛吸附氮气至接近饱和后，停止通空气并降低吸附床的压力，分子筛吸附的氮气便可以解吸出来，分子筛得到再生并可重复利用。两个以上的吸附床轮流切换工作，便可连续生产出氧气。 氧气和氩气的极性接近，两者很难分离，因此变压吸附制氧装置通常只能获得浓度为90-95%的氧气（氧的极限浓度为96%）又称富氧。
VPSA制氧设备的制氧过程为物理吸附过程，无化学反应，不造成环境污染，是一种适用性很强的供氧方式。
